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측정장비

L200ND

향상된 관찰, 내구성 및 운영 성능은 고급 기능과 결합하여
현미경 및 디지털 카메라 사이의 향상된 기능은 이상적인 영상을 제공합니다

ECLIPSE L300ND

ECLIPSE L200ND

향상된 관측 성능

L300N/L300ND/L200ND

L300N/L300ND/L200ND은 Diascopic 조명이 가능하며 같은 brightfield, darkfield, 단순 편광 및 DIC 등 다양한 관찰 방법을 제공합니다. 또한 365 나노미터 자외선 여기를 포함하여, Epi-fluorescence 관찰을 고용합니다
반도체 검사에서 높은 이득

Objective lens: CFI LU Plan Fluor 10x

Brightfield observation of
wafer pattern

Darkfield observation

DIC observation

Epi-fluorescence
observation of organic
substance on wafer

Epi-fluorescence 관찰을 위한 자동 수은 섬유 조명기 (L300N/L300ND/L200ND only)

자동 수은이 광섬유 조명기에 채용된다.
램프 교체 후 램프 센터링 및 초점 조정도 필요없습니다.
조명은 현미경에서 떨어져 둘 수 있으며
현미경 주변의 열을 감소할수있습니다.
조명의 강도와 셔터 컨트롤은 뛰어난 유연성을 제공합니다.
램프는 2000 시간의 평균 수명이 있습니다.

기존의 Diascopic 관찰보다 4 배 더 밝아 (L300ND only)

L300ND는 Diascopic 관찰을위한 네 번 더 밝은 조명을 제공하는 새로운 광원과 첨단 광학을 사용합니다.

CFI60 광학 긴 작동 거리와 높은 NA를 제공합니다

Fly-eye len

니콘의 CFI60 광학은 높은 NA와 넓은 샘플 범위와 긴 WD 접속을 통해 두 이미지 밝기를 제공합니다.
플레어를 최소화하여 선명하고 높은 콘트라스트 brightfield 이미지를 제공합니다.
시각적인 분야에 걸쳐 균일한 조명을 제공합니다 "fly-eye"렌즈 배열은, 놀랍도록 밝고 고해상도의 이미지를 제공합니다.

향상된 환경 및 작동

높은 강도의 12V-50W 할로겐 조명기는 표준 12V-100W 조명기의보다 밝습니다.

절반의 전력 소비에서 12V-100W 조명기의 조명보다 더 밝기를 제공합니다.
amphouse의 리어 미러를 통합하고 램프 필라멘트의 크기를 최적화하는 광학 시스템에서 효과적이고 균일한 조명 가능합니다.50x의 배율 또는 표준 12V-100W 조명기에 비해 20 % 밝기가 증가하여 더 큰 혜택을 제공합니다.
환경 친화적인 디자인을 갖추고 있으며, 화력 유도를 줄여줍니다.

자동 nosepiece 는 기존 모델보다 세 배의 내구성

최대 여섯가지의 목표를 설치할 수 있습니다.
메커니즘을 중심으로하는세개의 nosepiece 포지션에서 가능합니다. (L300N/L300ND only)
향상된 centricity은 목적이 더욱 높은 배율으로 변경될 때 변하는 이미지를 최소화합니다. 그러므로 높은 배율의 안정된 이미지관찰을 가능하게 합니다.
사용 목적에따라 nosepiec은 회전을하여 사용자의 눈을 보호합니다.

오염에 대해 강력한 보호를위한 정전기 방지 코팅

정전기 방지 코팅은 신체, 무대, 접안 렌즈 튜브 및 기타 다양한 컨트롤에 적용되었습니다. 이러한 코팅은 오염 물질에 대한 안전을 강화하고 정전기 청구에 의한 시료의 손상을 방지, 따라서 높은 수율에 기여합니다.

최적의 eyepoint 수준에서 관찰을 기울이기 위한

0 °와 30 ° 사이의 관찰 및 접안 렌즈 각도 조절의 최대 폭운 25mm field
사용자가 편안하게 볼 위치를 보장하기 위해 eyepoint 수준을 조정할 수 있습니다

X, Y 미세한 움직임을 조절

X,Y 미세 조정 제어장치가 가까이 위치하고 있습니다
모든 컨트롤은 스테이지의 움직임을 허용하고 쉽게 수행되도록 초점을 맞추고, 서로 가까이 위치하고 있습니다.

더 쉬운 초점

광학 경로에 초점을 맞춘 목표를 삽입하면 같은 베어 웨이퍼와 같은 낮은 대조 샘플에 대해 더욱 초점을 잡기가 쉽고

정확할수 있습니다.

현미경 전면에 위치한 컨트롤

메인 컨트롤 단자와 버튼은 쉽게 액세스할 수 있도록 현미경 앞에 위치하고 있습니다.

현미경 작업 샘플을 보는 것이 빠르고 쉽습니다.
긴 관찰 기간 동안 피로를 최소화 합니다.

사양

	ECLIPSE L300N (Episcopic illumination type)	ECLIPSE L300ND (Diascopic/Episcopic illumination type)
Main body	12V-50W halogen lamp light source built in; Power sources for motorized control built in Motorized control for nosepiece, Light intensity control, Aperture diaphragm control Nosepiece: Motorized universal sextuple nosepiece with nosepiece centering function
Main body	—	Epi/Dia changeover
Focusing mechanism	Cross travel: 29 mm Coarse: 12.7 mm per rotation (torque adjustable, refocusing mechanism provided) Fine: 0.1 mm per rotation (in 1 µm increments)
Episcopic illuminator	12V-50W halogen lamp light source built in Motorized aperture diaphragm (centerable), Fixed field diaphragm (with focus target) Pinhole slider (optional), Four ø25 mm filters (NCB11, ND16, ND4), Polarizer and Analyzer can be mounted Observation methods: Brightfield, Darkfield, Simple polarizing, DIC, Epi-fluorescence
Diascopic illuminator	—	12V-50W halogen lamp light source built in Aperture diaphragm built in LWD condenser built in
Interface	USB x 1, RS232C (for Intensilight) x 1
Eyepiece tubes	L2-TT2A Ultrawidefield erect-image tilting trinocular eyepiece tube (tilt angle: 0-30°) FOV: 22/25; Beamsplit ratio 100:0/20:80 L2-TTA Ultrawidefield erect-image tilting trinocular eyepiece tube (tilt angle: 0-30°) FOV: 22/25; Beamsplit ratio 100:0/0:100 LV-TI3 Trinocular eyepiece tube (erect image) FOV: 22/25; Beamsplit ratio 100:0/0:100
Eyepieces	CFI eyepiece lens series
Objectives	CFI LU/L Plan series
Stages	14 x 12 stage, stroke: 354 x 302 mm (Diascopic observation range: 354 x 268 mm) Coarse/Fine-movement changeover possible Fixed-position X-Y fine-movement controls
Antistatic mechanism	1000-10 V, within 0.2 sec
Power consumption	1.2 A/90 W
Dimensions	Approx. 360 (W) x 951 (D) x 581 (H) mm (at tilt angle 10°)
Weight	Approx. 64 kg (When L2-S8A 8 x 8 stage and L2-TTA eyepiece tube are used)

	ECLIPSE L200N (Episcopic illumination type)	ECLIPSE L200ND (Diascopic/Episcopic illumination type)
Main body	12V-50W halogen lamp light source built in; power sources for motorized control built in Motorized control for nosepiece, light intensity control, aperture diaphragm control Nosepiece: Motorized universal sextuple nosepiece
Main body	—	Epi/Dia changeover
Focusing mechanism	Cross travel: 29 mm Coarse: 12.7 mm per rotation (torque adjustable, refocusing mechanism provided) Fine: 0.1 mm per rotation (in 1 µmm increments)
Episcopic illuminator	12V-50W halogen lamp light source built in Motorized aperture diaphragm (centerable), Fixed field diaphragm (with focus target) Pinhole slider (optional), Four ø25 mm filters (NCB11, ND16, ND4), Polarizer and Analyzer can be mounted
Diascopic illuminator	—	12V-50W halogen lamp light source built in Aperture diaphragm built in LWD condenser built in
Interface	USB x 1, RS232C (for Intensilight) x 1
Eyepiece tubes	L2-TT2A ultrawidefield erect-image tilting trinocular eyepiece tube (tilt angle: 0-30 °) FOV: 22/25; Beamsplit ratio 100:0/20:80 L2-TTA ultrawidefield erect-image tilting trinocular eyepiece tube (tilt angle: 0-30 °) FOV: 22/25; Beamsplit ratio 100:0/0:100 LV-TI3 Trinocular (erect image, FOV: 22/25)
Eyepieces	CFI eyepiece lens series
Objectives	CFI LU/L Plan series
Stages	L2-S8A 8 x 8 stage, stroke: 205 x 205 mm (diascopic observation range: 150 x 150 mm) Coarse/Fine-movement changeover possible Fixed-position X-Y fine-movement controls
Antistatic mechanism	1000-10 V, within 0.2 sec
Power consumption	1.2 A/90 W
Dimensions	Approx. 360 (W) x 860 (D) x 580 (H) mm (at tilt angle 10 °)
Weight	Approx. 45 kg (When L2-S8A 8 x 8 stage and L2-TTA eyepiece tube are used)